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最先端のデジタル社会を支える、
TOTOファインセラミックスの製品ラインアップ
いま、ますます加速度を増し続けるテクノロジーの発展は、精密性・耐久安定性・耐熱性・電気特性といった様々な側面から、より高度な性能を持つ素材を要求しています。例えば、現代の産業において重要な役割をになう半導体の製造装置は、半導体自身の性能進化に伴い、より高いレベルの精度性能が必須条件となってきています。
TOTOのセラミックスは、この分野でも静電チャック、セラミックAD膜、エンジニアリングセラミックスなどといった高品質・高精度セラミック製品により高い評価をいただいています。
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静電チャック
静電チャックは、材料からの一貫した管理により高い耐久性と低パーティクルを実現するとともに、実績に裏づけされた設計・解析能力と高精度加工により最先端の半導体プロセスに貢献しています。
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AD部材
TOTOが開発したエアロゾルデポジション(AD)法によるイットリア膜は、半導体製造装置用に優れた耐プラズマ性をご提供します。金属、石英、セラミックスなど多様な基材上に緻密なイットリア膜を形成し、プラズマによる腐食を抑制し、パーティクル軽減に貢献します。
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エンジニアリングセラミックス
液晶装置向けセラミック部材は、TOTO独自の鋳込み成形技術により大型化に成功し、お客様より高い評価をいただいております。
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